产品详情
产品介绍
装置现有产能6000吨/年，采用国际先进技术和先进装备建成，目前产品质量稳定保持在G5等级，行业领先，广泛应用于存储类、逻辑类和车载功率半导体芯片制造领域，我们的产品成功实现了国外同类产品的国产化替代，打破了高品质电子化学品长期以来一直被国外垄断的局面。
电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一，是湿电子化学品中的一种，由于电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、性能及可靠性都有着十分重要的影响，生产工艺技术要求很高，目前主要依靠进口产品满足国内市场需求。在湿电子化学品领域，目前国际上公认的湿电子化学品质含量标准是SEMI国际标准，共分为五个等级，其中G5为最高等级。我国电子级氢氟酸生产厂家产品等级普遍较低，能够达到半导体所用G4级及以上的企业包括我公司在内仅三家左右，其余两家为多氟多、中巨芯（原巨化股份），高端电子级氢氟酸国产化率低。
主要用途
在半导体领域，主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序；在新型显示领域，主要用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀刻等；在光伏太阳能电池领域，主要用于硅片表面清洗、蚀刻去边、清洗制绒等环节。
